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Ferroelectric AlScN thin films with enhanced polarization and low leakage enabled by high-power impulse magnetron sputtering

Fuente: arXiv

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Hauptverfasser:	Messi, Federica, Patidar, Jyotish, Rodkey, Nathan, Dräyer, Christoph W., Trassin, Morgan, Siol, Sebastian
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Applied Physics Materials Science
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