Mitigation of Delamination of Epitaxial Large-Area Boron Nitride for Semiconductor Processing

Fuente: arXiv

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Rogoza, Jakub, Iwanski, Jakub, Ludwiczak, Katarzyna, Furtak, Bartosz, Dabrowska, Aleksandra Krystyna, Tokarczyk, Mateusz, Binder, Johannes, Wysmolek, Andrzej
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Materials Science Applied Physics n.a J.2
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