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Tuning the surface energy of fluorinated diamond-like carbon coatings via plasma immersion ion implantation plasma-enhanced chemical vapor deposition with 1,1,1,2-tetrafluoroethane

Fuente: arXiv

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Hauptverfasser:	Tong, Yuhan, Zahedian, Maryam, Zeng, Aiping, Vidrio, Ricardo, Efremov, Mike, Yin, Shenwei, Mei, Hongyan, Heaney, Patrick, Choy, Jennifer T.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Materials Science
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