TorchResist: Open-Source Differentiable Resist Simulator

Fuente: arXiv
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Autori principali: Wang, Zixiao, Zhou, Jieya, Zheng, Su, Yin, Shuo, Liang, Kaichao, Hu, Shoubo, Chen, Xiao, Yu, Bei
Natura: Preprint
Pubblicazione: 2025
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