Effect of Annealing on Al Diffusion and its Impact on the Properties of Ga$_2$O$_3$ Thin Films Deposited on c-plane Sapphire by RF Sputtering
Fuente:
arXiv
Salvato in:
| Autori principali: | , , , , , , |
|---|---|
| Natura: | Preprint |
| Pubblicazione: |
2025
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