Local Rational Modeling for Identification Beyond the Nyquist Frequency: Applied to a Prototype Wafer Stage

Fuente: arXiv
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: van Haren, Max, Blanken, Lennart, Classens, Koen, Oomen, Tom
Format: Preprint
Veröffentlicht: 2025
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