Buchumschlag

Frequency domain identification for multivariable motion control systems: Applied to a prototype wafer stage

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	van der Hulst, M., González, R. A., Classens, K., Tacx, P., Dirkx, N., van de Wijdeven, J., Oomen, T.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Systems and Control
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