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Low-loss silicon nitride Kerr-microresonators fabricated with metallic etch masks via metal lift-off

Fuente: arXiv

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Hauptverfasser:	Colacion, Gabriel M., Rukh, Lala, Buck, Franco, Drake, Tara E.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Optics
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