CMOS-compatible vanadium dioxide via Pulsed Laser and Atomic Layer deposition: towards ultra-thin film phase-change layers

Fuente: arXiv

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Détails bibliographiques
Auteurs principaux:	Varini, Anna, Masserey, Cyrille, Conti, Vanessa, Somaehsofla, Zahra Saadat, Ansari, Ehsan, Stolichnov, Igor, Ionescu, Adrian M.
Format:	Preprint
Publié:	2025
Sujets:	Materials Science Applied Physics
Accès en ligne:	Acceder al recurso
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https://arxiv.org/abs/2504.10056