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CMOS-compatible vanadium dioxide via Pulsed Laser and Atomic Layer deposition: towards ultra-thin film phase-change layers

Fuente: arXiv

Salvato in:

Dettagli Bibliografici
Autori principali:	Varini, Anna, Masserey, Cyrille, Conti, Vanessa, Somaehsofla, Zahra Saadat, Ansari, Ehsan, Stolichnov, Igor, Ionescu, Adrian M.
Natura:	Preprint
Pubblicazione:	2025
Soggetti:	Materials Science Applied Physics
Accesso online:	Acceder al recurso
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