Curvilinear Mask Optimization for Inverse Lithography Based on B-splines and Delaunay Triangulation
Fuente:
arXiv
Salvato in:
| Autori principali: | Yi, Xiaoru, Chen, Junqing |
|---|---|
| Natura: | Preprint |
| Pubblicazione: |
2025
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | |
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