Scalable High-Precision Microfabrication on Various Lithography-Incompatible Substrates and Materials Enabled by Wafer-Scale Transfer Lithography of Commercial Photoresists

Fuente: arXiv
Salvato in:
Dettagli Bibliografici
Autori principali: Guo, Qinhua, Xu, Zhiqing, Yang, Lizhou, Zhang, Jingyang, Gan, Yawen, Zhang, Jiajun, Jiang, Jiahao, Wang, Yunda
Natura: Preprint
Pubblicazione: 2025
Soggetti:
Accesso online:
Tags: Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!