Defect Detection in Photolithographic Patterns Using Deep Learning Models Trained on Synthetic Data

Fuente: arXiv
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Auteurs principaux: Shinde, Prashant P., Pai, Priyadarshini P., Adiga, Shashishekar P., Mayya, K. Subramanya, Seo, Yongbeom, Hwang, Myungsoo, Go, Heeyoung, Park, Changmin
Format: Preprint
Publié: 2025
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