Machine learning for in-situ composition mapping in a self-driving magnetron sputtering system

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Jarl, Sanna, Sjölund, Jens, Frost, Robert J. W., Holst, Anders, Scragg, Jonathan J. S.
Formato:	Preprint
Publicado:	2025
Materias:	Machine Learning Materials Science I.2.1; J.2.8
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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https://arxiv.org/abs/2506.05999