Machine learning for in-situ composition mapping in a self-driving magnetron sputtering system

Fuente: arXiv

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Dettagli Bibliografici
Autori principali:	Jarl, Sanna, Sjölund, Jens, Frost, Robert J. W., Holst, Anders, Scragg, Jonathan J. S.
Natura:	Preprint
Pubblicazione:	2025
Soggetti:	Machine Learning Materials Science I.2.1; J.2.8
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Accesso online

https://arxiv.org/abs/2506.05999