Measurements, simulations, and models of the point-spread function of electron-beam lithography

Fuente: arXiv
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Autori principali: Hougs, Nikolaj B., Knudsen, Kristian S., Albrechtsen, Marcus, Suhara, Taichi, Rosiek, Christian A., Stobbe, Søren
Natura: Preprint
Pubblicazione: 2025
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