Measurements, simulations, and models of the point-spread function of electron-beam lithography

Fuente: arXiv

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Hougs, Nikolaj B., Knudsen, Kristian S., Albrechtsen, Marcus, Suhara, Taichi, Rosiek, Christian A., Stobbe, Søren
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Applied Physics
Online-Zugang:	Acceder al recurso
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