Monolithic interferometric modules for multi-axis coordinate positioning with sub-nanometre precision

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Rerucha, Simon, Cip, Ondrej, Hola, Miroslava, Lazar, Josef, Mikel, Bretislav
Formato:	Preprint
Publicado:	2025
Materias:	Optics Applied Physics Instrumentation and Detectors
Acceso en línea:	Acceder al recurso
Etiquetas:	Agregar Etiqueta Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

Internet

https://arxiv.org/abs/2507.07642