Monolithic interferometric modules for multi-axis coordinate positioning with sub-nanometre precision
Fuente:
arXiv
Salvato in:
| Autori principali: | Rerucha, Simon, Cip, Ondrej, Hola, Miroslava, Lazar, Josef, Mikel, Bretislav |
|---|---|
| Natura: | Preprint |
| Pubblicazione: |
2025
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