Modeling the Role of Secondary Electron Emission in Direct Current Magnetron Sputtering using Explicit Energy-Conserving Particle-in-Cell Methods

Fuente: arXiv
Salvato in:
Dettagli Bibliografici
Autori principali: Main, Daniel, Jenkins, Thomas G., Theis, Joseph G., Werner, Gregory R., Cary, John R., Lanham, Eve, Veitzer, Seth A., Kruger, Scott E.
Natura: Preprint
Pubblicazione: 2025
Soggetti:
Accesso online:
Tags: Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!