Laser micromachining of arbitrarily complex and overhang-free SiN nanomechanical resonators

Fuente: arXiv

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Saleh, Yahya, Louis-Seize, Zachary, Hodges, Timothy, Girard, David, Shakir, Mohammed, Turgeon-Roy, Mathis, Doyon-D'Amour, Francis, Zhang, Chang, Weck, Arnaud, St-Gelais, Raphael
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Optics Applied Physics
Online-Zugang:	Acceder al recurso
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Online

https://arxiv.org/abs/2507.18599