High-quality Blazed Gratings through Synergy between E-Beam lithography and Robust Characterisation Techniques

Fuente: arXiv
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Auteurs principaux: Herrero, Analía F., Samadi, Nazanin, Sokolov, Andrey, Gwalt, Grzegorz, Rehbein, Stefan, Teichert, Anke, Ketelaars, Bas, Zonnevylle, Christian, Krist, Thomas, David, Christian, Siewert, Frank
Format: Preprint
Publié: 2025
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