A Novel Methodology of Visualizing Orthorhombic Phase Uniformity in Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 Devices Using Piezoresponse Force Microscopy

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Peng, Wei-Cheng, Liu, Hsien-Yang, Yu, Cheng-Yu, Useinov, Artur, Wu, Tian-Li
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Materials Science Applied Physics
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https://arxiv.org/abs/2508.01707