Fabrication, characterization and mechanical loading of Si/SiGe membranes for spin qubit devices

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Marcogliese, Lucas, Sabapathy, Ouviyan, Richter, Rudolf, Tu, Jhih-Sian, Bougeard, Dominique, Schreiber, Lars R.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Mesoscale and Nanoscale Physics
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https://arxiv.org/abs/2508.14589