Compressed Learning for Nanosurface Deficiency Recognition Using Angle-resolved Scatterometry Data

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Abdollahpour, Mehdi, Bockelmann, Carsten, Rahman, Tajim Md Hasibur, Dekorsy, Armin, Fischer, Andreas
Formato:	Preprint
Publicado:	2025
Materias:	Signal Processing Image and Video Processing
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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Internet

https://arxiv.org/abs/2508.17873