Compressed Learning for Nanosurface Deficiency Recognition Using Angle-resolved Scatterometry Data

Fuente: arXiv
Salvato in:
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Autori principali: Abdollahpour, Mehdi, Bockelmann, Carsten, Rahman, Tajim Md Hasibur, Dekorsy, Armin, Fischer, Andreas
Natura: Preprint
Pubblicazione: 2025
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