High-$Q$ membrane resonators using ultra-high-stress crystalline TiN films

Fuente: arXiv

Enregistré dans:

Détails bibliographiques
Auteurs principaux:	Matsuyama, Yuki, Shirai, Shotaro, Nakamura, Ippei, Tokunari, Masao, Terai, Hirotaka, Hishida, Yuji, Sasaki, Ryo, Tominaga, Yusuke, Noguchi, Atsushi
Format:	Preprint
Publié:	2025
Sujets:	Mesoscale and Nanoscale Physics Materials Science
Accès en ligne:	Acceder al recurso
Tags:	Ajouter un tag Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!

Internet

https://arxiv.org/abs/2509.02987