Nayak, S., Andrianov, N., Gruhn, T., & Miranda, J. (2025). Atomic Layer Etching of Aluminum Nitride: Mechanistic Insights from First-Principles Studies of Chlorine Chemistry.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Nayak, Sanjay, Nikolai Andrianov, Thomas Gruhn, und Joaquin Miranda. Atomic Layer Etching of Aluminum Nitride: Mechanistic Insights from First-Principles Studies of Chlorine Chemistry. 2025.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Nayak, Sanjay, et al. Atomic Layer Etching of Aluminum Nitride: Mechanistic Insights from First-Principles Studies of Chlorine Chemistry. 2025.
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