Monolithic 3D integration of tantalum pentoxide photonics on arbitrary substrates

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Brodnik, Grant M., Spektor, Grisha, Williams, Lindell M., Zang, Jizhao, Carollo, Alexa R., Dan, Atasi, Black, Jennifer A., Carlson, David R., Papp, Scott B.
Formato:	Preprint
Publicado:	2025
Materias:	Optics
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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https://arxiv.org/abs/2509.08092