Room temperature reactive sputtering deposition of titanium nitride with high sheet kinetic inductance

Fuente: arXiv
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Autori principali: Li, Juliang, Barry, Peter S., Cecil, Tom, Lisovenko, Marharyta, Yefremenko, Volodymyr, Wang, Gensheng, Kruhlov, Serhii, Karapetrov, Goran, Chang, Clarence
Natura: Preprint
Pubblicazione: 2025
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