Room temperature reactive sputtering deposition of titanium nitride with high sheet kinetic inductance

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Li, Juliang, Barry, Peter S., Cecil, Tom, Lisovenko, Marharyta, Yefremenko, Volodymyr, Wang, Gensheng, Kruhlov, Serhii, Karapetrov, Goran, Chang, Clarence
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Superconductivity
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https://arxiv.org/abs/2509.14133