LLM Agents for Knowledge Discovery in Atomic Layer Processing

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Werbrouck, Andreas, Lindsay, Marshall B., Maschmann, Matthew, Young, Matthias J.
Formato:	Preprint
Publicado:	2025
Materias:	Artificial Intelligence Mesoscale and Nanoscale Physics Materials Science
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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https://arxiv.org/abs/2509.26201