Fully automated inverse co-optimization of templates and block copolymer blending recipes for DSA lithography

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Zhou, Yuhao, Shen, Huangyan, Song, Qingliang, Dong, Qingshu, Li, Jianfeng, Li, Weihua
Formato:	Preprint
Publicado:	2025
Materias:	Computational Physics Artificial Intelligence Computational Engineering, Finance, and Science
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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https://arxiv.org/abs/2510.02715