Buchumschlag

Fully automated inverse co-optimization of templates and block copolymer blending recipes for DSA lithography

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Zhou, Yuhao, Shen, Huangyan, Song, Qingliang, Dong, Qingshu, Li, Jianfeng, Li, Weihua
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Computational Physics Artificial Intelligence Computational Engineering, Finance, and Science
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