Operator-Consistent Physics-Informed Learning for Wafer Thermal Reconstruction in Lithography

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Tao, Ze, Liu, Fujun, Jin, Yuxi, Xu, Ke, Sun, Minghui, Hu, Xiangsheng, Cao, Qi, Xu, Haoran, Wang, Hanxuan
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Mathematical Physics
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https://arxiv.org/abs/2510.09207