Metalorganic Chemical Vapor Deposition of AlScN Thin Films and AlScN/AlN/GaN Heterostructures

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Vangipuram, Vijay Gopal Thirupakuzi, Mukit, Abdul, Zhang, Kaitian, Salmani-Rezaie, Salva, Zhao, Hongping
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Materials Science Applied Physics
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https://arxiv.org/abs/2510.12074