Metalorganic Chemical Vapor Deposition of AlScN Thin Films and AlScN/AlN/GaN Heterostructures

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Vangipuram, Vijay Gopal Thirupakuzi, Mukit, Abdul, Zhang, Kaitian, Salmani-Rezaie, Salva, Zhao, Hongping
Formato:	Preprint
Publicado:	2025
Materias:	Materials Science Applied Physics
Acceso en línea:	Acceder al recurso
Etiquetas:	Agregar Etiqueta Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

Internet

https://arxiv.org/abs/2510.12074