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Enhanced Secondary Electron Detection of Single Ion Implants in Silicon Through Thin SiO2 Layers

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Schneider, Ella B, Lloyd-Willard, Oscar G, Stockbridge, Kristian, Ludlow, Mark, Eserin, Sam, Antwis, Luke, Cox, David C, Webb, Roger P, Murdin, Ben N, Clowes, Steve K
Formato:	Preprint
Publicado:	2025
Materias:	Materials Science Quantum Physics
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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