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Surface diffusion of phosphorus on Si(100) after PBr3 adsorption

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Pavlova, T. V., Shevlyuga, V. M.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Materials Science Mesoscale and Nanoscale Physics
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