Deterministic nanofabrication of quantum dot-circular Bragg grating resonators with high process yield using in-situ electron beam lithography

Fuente: arXiv

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Auteurs principaux:	Barua, Avijit, Gaur, Kartik, Roche, Leo J., Park, Suk In, Mudi, Priyabrata, Rodt, Sven, Song, Jin-Dong, Reitzenstein, Stephan
Format:	Preprint
Publié:	2025
Sujets:	Mesoscale and Nanoscale Physics Applied Physics
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https://arxiv.org/abs/2510.16131