A Computational Study for Screening High-Selectivity Inhibitors in Area-Selective Atomic Layer Deposition on Amorphous Surfaces

Fuente: arXiv

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Détails bibliographiques
Auteurs principaux:	Kim, Gijin, Kim, Purun-hanul, Hahm, Suk Gyu, Kwon, Myongjong, Park, Byungha, Hong, Changho, Han, Seungwu
Format:	Preprint
Publié:	2025
Sujets:	Materials Science
Accès en ligne:	Acceder al recurso
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https://arxiv.org/abs/2510.17356