Fabrication and characterization of high-Q silicon nitride membrane resonators

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Hyatt, Atkin D., Flores, Oscar A., Agrawal, Aman R., Condos, Charles A., Wilson, Dalziel J.
Formato:	Preprint
Publicado:	2025
Materias:	Mesoscale and Nanoscale Physics Applied Physics
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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Internet

https://arxiv.org/abs/2511.02166