Low-to-mid Al content ($x\sim$ 0-0.56) Al$_x$In$_{1-x}$N layers deposited on Si(100) by radio-frequency sputtering
Fuente:
arXiv
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , , , , |
|---|---|
| Format: | Preprint |
| Veröffentlicht: |
2025
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