Low-to-mid Al content ($x\sim$ 0-0.56) Al$_x$In$_{1-x}$N layers deposited on Si(100) by radio-frequency sputtering

Fuente: arXiv
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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Blasco, R., Valdueza-Felip, S., Montero, D., Sun, M., Olea, J., Naranjo, F. B.
Formato: Preprint
Publicado: 2025
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