Residual Stress Anisotropy In Thin-Film Lithium Niobate For Stress-Managed MEMS

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Kim, Byeongjin, Anderson, Ian, Hsu, Tzu-Hsuan, Yao, Ziqian, Chaudhari, Mihir, Cho, Sinwoo, Lu, Ruochen
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Applied Physics
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https://arxiv.org/abs/2511.17474