Tuning Breakdown-to-Coercive Field Ratio in Ultra-Thin Al1-xScxN Films via Reactive Nitrogen Atmosphere

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Zhang, Yinuo, Smith, Walter J., Esteves, Giovanni, Stach, Eric A., Beechem, Thomas E., Olsson III, Roy H.
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2025
Schlagworte:	Materials Science Applied Physics
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https://arxiv.org/abs/2511.18160