Dynamic Imaging of Periodic Structures using Extreme Ultraviolet Scatterometry

Fuente: arXiv

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Dettagli Bibliografici
Autori principali:	McBennett, Brendan, Tanksalvala, Michael, Nelson, Emma E., Culman, Theodore H., Li, Yunhao, Liu, Jiayi, Berk, Ethan, Beardo, Albert, Harford, James, Shaw, Justin, Kapteyn, Henry C., Murnane, Margaret M., Knobloch, Joshua L.
Natura:	Preprint
Pubblicazione:	2025
Soggetti:	Optics Applied Physics
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Accesso online

https://arxiv.org/abs/2512.19940