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Wafer-Scale Integration of Piezo- and Ferroelectric Al0.64Sc0.36N Thin Films by Reactive Sputtering

Fuente: arXiv

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Détails bibliographiques
Auteurs principaux:	Nayak, Sanjay, Nallagatla, Venkata Raveendra, Bisht, Ravindra Singh, Solonenko, Dmytro, Henzen, Demian, Ali, Washim Reza, Lazzari, Carla Maria, Frost, Robert JW, Serafini, Andrea, Codegoni, Davide, Balsamo, Amalia, Scaldaferri, Rossana, Allahyari, Elaheh, Ghosh, Anirban, Kratzer, Martin, Picco, Andrea, Costantini, Sonia, Rusconi, Andrea, Moridi, Mohssen, Campanella, Humberto, Deluca, Marco, De Pastina, Annalisa
Format:	Preprint
Publié:	2025
Sujets:	Materials Science
Accès en ligne:	Acceder al recurso
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