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Wafer-Scale Integration of Piezo- and Ferroelectric Al0.64Sc0.36N Thin Films by Reactive Sputtering

Fuente: arXiv

Guardado en:

Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Nayak, Sanjay, Nallagatla, Venkata Raveendra, Bisht, Ravindra Singh, Solonenko, Dmytro, Henzen, Demian, Ali, Washim Reza, Lazzari, Carla Maria, Frost, Robert JW, Serafini, Andrea, Codegoni, Davide, Balsamo, Amalia, Scaldaferri, Rossana, Allahyari, Elaheh, Ghosh, Anirban, Kratzer, Martin, Picco, Andrea, Costantini, Sonia, Rusconi, Andrea, Moridi, Mohssen, Campanella, Humberto, Deluca, Marco, De Pastina, Annalisa
Formato:	Preprint
Publicado:	2025
Materias:	Materials Science
Acceso en línea:	Acceder al recurso
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