Wafer-Scale Integration of Piezo- and Ferroelectric Al0.64Sc0.36N Thin Films by Reactive Sputtering

Fuente: arXiv
Salvato in:
Dettagli Bibliografici
Autori principali: Nayak, Sanjay, Nallagatla, Venkata Raveendra, Bisht, Ravindra Singh, Solonenko, Dmytro, Henzen, Demian, Ali, Washim Reza, Lazzari, Carla Maria, Frost, Robert JW, Serafini, Andrea, Codegoni, Davide, Balsamo, Amalia, Scaldaferri, Rossana, Allahyari, Elaheh, Ghosh, Anirban, Kratzer, Martin, Picco, Andrea, Costantini, Sonia, Rusconi, Andrea, Moridi, Mohssen, Campanella, Humberto, Deluca, Marco, De Pastina, Annalisa
Natura: Preprint
Pubblicazione: 2025
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