A Generalizable Framework for Building Executable Domain-Specific LLMs under Data Scarcity: Demonstration on Semiconductor TCAD Simulation

Fuente: arXiv

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Wang, Di, Wu, Zhenhua, Liu, Yu, Chang, Kai, Wu, Shaohua
Format:	Preprint
Veröffentlicht:	2026
Schlagworte:	Computational Engineering, Finance, and Science Materials Science Software Engineering
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https://arxiv.org/abs/2601.10128