Zhang, S., Volynets, A., Curley, G. A., & Booth, J. (2026). Oxygen atom density and kinetics in intermediate-pressure radiofrequency capacitively-coupled plasmas in pure O2.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Zhang, Shu, Andrey Volynets, Garrett A. Curley, und Jean-Paul Booth. Oxygen Atom Density and Kinetics in Intermediate-pressure Radiofrequency Capacitively-coupled Plasmas in Pure O2. 2026.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Zhang, Shu, et al. Oxygen Atom Density and Kinetics in Intermediate-pressure Radiofrequency Capacitively-coupled Plasmas in Pure O2. 2026.
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