Transforming Computational Lithography with AC and AI -- Faster, More Accurate, and Energy-efficient

Fuente: arXiv

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Mukhopadhyay, Saumyadip, Yang, Kiho, Vasudevan, Kasyap Thottasserymana, Divvela, Mounica Jyothi, Dogru, Selim, Krishnamurthy, Dilip, Treska, Fergo, Gillijns, Werner, Kim, Ryan Ryoung han, Sastry, Kumara, Singh, Vivek
Formato:	Preprint
Publicado:	2026
Materias:	Signal Processing Artificial Intelligence Applied Physics
Acceso en línea:	Acceder al recurso
Etiquetas:	Agregar Etiqueta Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!

Descripción
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